富士FUJI变频器在半导体晶圆搬运机器人中的应用

技术挑战
晶圆搬运要求速度波动<0.05%。富士FRENIC-MX系列实现0.01%的速度控制精度。

关键突破

• 纳米级编码器反馈系统

• 防振算法降低振幅至±2μm

• 洁净室设计（ISO Class3标准）

实测数据
某12英寸晶圆厂应用后，碎片率下降至0.001‰，达国际先进水平。

行业认证
通过SEMI S2-2025半导体设备安全标准。

发展计划
2026年推出支持真空环境的磁悬浮驱动版本。